再配向アニール装置
（コンベヤー式加熱急冷オーブン）
外装ステンレス鋼板
■特長
カセットに入ったワーク状態で加熱冷却を行います。冷却源はクリーンルーム中のエアーを使用し、HEPAフィルターを通しますので清浄なエアーが得られます。イオナイザーを内蔵しますので、静電気対策は万全です。
作業はカセットをローダーにおくか、前工程からリクエストで自動に動きます（無人運転用）。
外装焼付塗装
■特長
優れた温度分布：±３℃以内の温度分布で全てのLCDに均一な効果が得られます。
高速処理：昇温が速いので、短いタクトタイムで処理できます。
■仕様
| 型式 | HAシリーズ |
|---|---|
| 温度 | Max150℃ |
| タクトタイム | 3～10分 |