インライン式液晶注入装置
■特長
液晶を自動で連続的に注入するインライン式の装置です。カセットをAGVまたはMGVで本装置のローダーにセットした後、全自動で搬送を行いながら注入前の真空ベーク～冷却～液晶脱泡～セルの排気～液晶注入の工程を連続して行います。
それぞれの処理を行うチャンバーは直線的に連続して配置してあり、弊社の特許技術である真空高圧室シール手段（特許第2933514号）の採用により、隣り合ったチャンバーで加圧と真空の両方の処理が可能です。
また、注入前の真空ベーク槽には弊社の特許技術である真空加熱処理方法（特許第2622356号）を採用しており、均一な温度下で真空ベーク処理を行うことができます。さらには液晶脱泡槽を別に設けることで、液晶の蒸発を最小限にとどめながらセルは高真空で排気することも可能になります。
注入処理完了後は、液晶皿の自動リターン機能により作業者の負担を軽減します。20ステップ×50パターンのレシピ設定が可能で、最大50インチのパネルまで対応可能です。
