大型真空アニール装置

大型LCDパネル用に、大型PDP用に

■特長

均一な熱処理が出来ます。

大型真空アニール装置

■仕様

型式 VA-25258
チャンバー有効寸法　W×D×H 2500×2500×850mm
温度 室温～MAX550℃
真空度 大気圧～10Pa以下（排気装置による）
チャンバー外形寸法 W×D×H 2900×2690×1530mm
重量 3000kg

■大型真空アニール装置図面

※グラフをクリックすると拡大します

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