微圧安全弁 | 協真エンジニアリングの、環境制御、液晶製造、装置
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真空容器が加圧されるのを防ぐために、真空容器には非常に低い圧力で吹き出してしまう安全弁を設置しております。これにより真空容器を過圧から守ります
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