再配向アニール装置(コンベヤー式加熱急冷オーブン)

外装ステンレス鋼板

特長

カセットに入ったワーク状態で加熱冷却を行います。冷却源はクリーンルーム中のエアーを使用し、HEPAフィルターを通しますので清浄なエアーが得られます。イオナイザーを内蔵しますので、静電気対策は万全です
作業はカセットをローダーにおくか、前工程からリクエストで自動に動きます(無人運転用)

外装焼付塗装

特長

優れた温度分布:±3℃以内の温度分布で全てのLCDに均一な効果が得られます
高速処理:昇温が速いので、短いタクトタイムで処理できます

仕様
型式 HAシリーズ
温度 Max150℃
タクトタイム 3~10分


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