真空加圧アニール装置

  

特長

カセットに入ったワーク状態で、加熱冷却及び加圧・減圧を行います
圧力と温度は別々にフルプログラムコントロールでき、真空もピラニー計で管理されます
真空、加圧共に使用可能なアニーリングチャンバーでセルの熱処理及び接着剤のガス抜きを目的に開発された装置です
特に、カセットに狭いピッチで並べられたセルのようなものは、非常に良い温度分布が得られます。また、減圧時は圧力のプログラムコントロールによってセルの破壊を完全に防ぎます
さらに、降温時は陽圧により温度分布が非常に良いので処理の均一化が図れます
弊社の独自の方法(特許)により、温度分布を均一にしてから真空にして加圧アニーリングするので、理想的な処理が可能です

仕様

型式 HPVA-95120AA HPVA-110220
真空/圧力 1.33Pa/0.49MPa(G)
温度 MAX 210℃
クリーン度 Class 100
チャンバー寸法 mm φ950×L2200 φ1100×L3100
電源 35kw 75.6kw
外形寸法(本体)W×D×H mm 1650×2700×1900 1800×4250 ×2200


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