昇華精製装置

      

特長

有機ELディスプレイの発光材料等の純度を上げるための昇華精製を行う装置です。真空中で各物質の蒸発(昇華)温度を利用して、発光物質と不純物の混合物から発光物質だけを昇華させ、低温部で再凝集させて高純度な状態で取り出します
真空中で加熱しますので処理温度は低くて済み、発光物質の劣化が妨げるととともに加熱のための電力を抑えています
実験用の小型のものから、大量生産用の大型のものまで各種ご用意できます

仕様

型式 VQ-0510 VQ-3020
温度 R.T.~600℃
排気装置 ターボ分子ポンプ
+ドライポンプ
ディフュージョンポンプ
+油回転ポンプ
+オイルミストセパレーター
+オイルバック防止フィルター
真空度 9×10-3Pa 9×10-5Pa
ガスフロー(オプション) Ar3~30cc/min.
加熱 2ゾーン 3ゾーン
炉体 セラミックファイバーヒータ
チャンバー φ60石英 L1000 φ274石英 L1960
捕集管 φ50石英 L100×3 φ270石英 L300×6
トラップ 投げ込み式クーラー 液体窒素トラップSUS製
電源 AC200V 1φ 3kw AC200V 3φ 28.5kw
外寸 W×D×H 1200×700×1400 1550×1800×2685
重量 400kg 900kg
冷却水(市水) 1L/min. 15L/min.


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