大型真空アニール装置
大型LCDパネル用に、大型PDP用に
特長
均一な熱処理が出来ます
仕様
| 型式 | VA-25258 |
| チャンバー有効寸法 W×D×H | 2500×2500×850mm |
| 温度 | 室温～MAX550℃ |
| 真空度 | 大気圧～10Pa以下（排気装置による） |
| チャンバー外形寸法 W×D×H | 2900×2690×1530mm |
| 重量 | 3000kg |
大型真空アニール装置図面
※グラフをクリックすると拡大します
大型真空アニール装置 | 協真エンジニアリングの、環境制御、液晶製造、装置
大型LCDパネル用に、大型PDP用に
均一な熱処理が出来ます
| 型式 | VA-25258 |
| チャンバー有効寸法 W×D×H | 2500×2500×850mm |
| 温度 | 室温～MAX550℃ |
| 真空度 | 大気圧～10Pa以下（排気装置による） |
| チャンバー外形寸法 W×D×H | 2900×2690×1530mm |
| 重量 | 3000kg |
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