大型真空アニール装置

大型LCDパネル用に、大型PDP用に

特長

均一な熱処理が出来ます

仕様

型式 VA-25258
チャンバー有効寸法 W×D×H 2500×2500×850mm
温度 室温~MAX550℃
真空度 大気圧~10Pa以下(排気装置による)
チャンバー外形寸法 W×D×H 2900×2690×1530mm
重量 3000kg

大型真空アニール装置図面

※グラフをクリックすると拡大します


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