| 1982年10月 |
資本金300万円で設立 |
| 1983年 1月 |
半導体試験装置プレッシャークッカーを発売 |
| 1986年12月 |
西ドイツ連邦安全協会型式認定を取得 |
| 1988年11月 |
株式会社に組織変更・資本金1000万円 |
| 1990年10月 |
300Kg/cm2第一種圧力容器製造認可 |
| 1992年2月 |
高圧燃料供給装置発売 |
| 1992年11月 |
真空加圧ホットプレス発売 |
| 1994年10月 |
液晶注入装置発売 |
| 1996年4月 |
有機物乾留用高温圧力容器発売(800℃,300kgf/cm2) |
| 1996年10月 |
高圧ガス供給設備発売(450 kgf/cm2) |
| 1997年4月 |
真空・加熱処理方式および装置に関する特許取得 |
| 1998年6月 |
本社新工場完成 |
| 1997年5月 |
真空高圧室シール手段に関する特許取得 |
| 1999年6月 |
第三者割当増資により資本金4000万円 |
| 1999年6月 |
財団法人埼玉県創造的企業投資育成財団の投資決定 |
| 1999年10月 |
本蓮工場が稼動して生産能力が4倍になる |
| 1999年12月 |
通産省より特定新規事業法に基づき新規事業認定取得 |
| 2000年2月 |
大蔵省・通産省共管の新規事業投資株式会社等の出資により資本金6500万円 |
| 2000年2月 |
大蔵省・通産省共管の特別認可法人産業基盤整備基金による債務保証決定 |
| 2000年3月 |
第三者割当増資により資本金1億6125万円 |
| 2000年10月 |
本蓮南工場・環境制御技術研究所完成 |
| 2001年5月 |
第三者割当増資により資本金2億2369万円 |
| 2002年4月 |
台湾における顧客開拓のため、台湾事務所を開設 |
| 2003年2月 |
第三者割当増資により資本金3億1824万円 |
| 2004年7月 |
中国ボイラー及び圧力容器製造許可(ML)を取得 |
| 2005年7 月 |
NEDOより「大型ガラス基盤気流搬送装置の実用化開発」が産業技術実用化開発助成事業に採択 |
| 2005年11月 |
関西事業所(三重工場)完成 |
| 2005年11月 |
CEマーキングの認証取得 |
| 2006年11月 |
増資により資本金3億4026万円 |
